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  • <tr id='3UZmiM'><strong id='3UZmiM'></strong><small id='3UZmiM'></small><button id='3UZmiM'></button><li id='3UZmiM'><noscript id='3UZmiM'><big id='3UZmiM'></big><dt id='3UZmiM'></dt></noscript></li></tr><ol id='3UZmiM'><option id='3UZmiM'><table id='3UZmiM'><blockquote id='3UZmiM'><tbody id='3UZmiM'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='3UZmiM'></u><kbd id='3UZmiM'><kbd id='3UZmiM'></kbd></kbd>
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                  苏州帕☉士卡影响氮化钛涂层性能因素及注意事项
                  
												
                  发布时间：2022-02-16 14:02 浏览： 次
                  
											  
                  
											  
                  
	氮化钛涂层（TiN）作为含钛涂层，以其高硬度、高耐磨性和良好的化□　学稳定性成为应用前景光明的涂层材料，在工模◆具行业得到广泛应用。并且，氮化钛涂层制备方法也较多，如多弧离子∴镀、磁控溅射¤镀膜技术等都可以制备氮化钛涂层。不过，在制备过程中，某些工艺参数会影响氮化钛涂卐层的性能与质量，需要工作∑　人员注意。下面，苏州帕士卡微纳米科技有限公司为大家分享一下哪些因素影响▼氮化钛涂层性能吧。
                  
	　
                  
	一、温度
                  
	温度是影响涂层性能优劣的一个重要工←艺参数。沉积温度过高，沉】积速率过快，涂层组织呈粗大枝状结晶，影响涂层的○质量；而沉积温度过↓低，也容易形成多孔、疏松的沉√积物，降低与基体的结合强度。因此，合理选择温◤度是获得厚度适中、显微组织呈致★密柱状结晶的高质量涂层的必要条件。
                  
	 
                  
	二、化学成分
                  
	TiN涂层中N原子的相对含量对其性能有重要的影响，一般其硬度随x值的增大而增加ㄨ，韧性随x值的增大而降低。当x<0.56时，其硬度随x值增大而增大；当x>0.56时，硬度则随x值增大而♂减小；弹性模◎量在x=0.6时约为610GPa，在x=1时约为540GPa，整体呈下降趋势。在低荷载(10N)时，各组分涂层显示出极好的摩擦学特性，摩擦系数＠和磨损量均很低，且随组分的变化不大；但随着荷载进一步增々大，摩擦系数和磨损量都相应增大，且增大的幅度与涂层组分密切相关，一般随N含量的增加而减♀少。
                  
	 
                  
	三、气体配比
                  
	在制备                  TiN涂层时，反应气体通常用CH4与N2，或者C2H2与N2的混合气体。这两种气体之间的相对比例对TiN涂层性能有一定的影响。随CH4：N2流量比的增大，涂层的硬度增大。随着№混合气体中CH4比例的升高，TiCN涂层的硬度提高、耐▲磨性增强。并且，氮化钛涂层的硬度』随着C2 H2:N2的增大而增大，随着比值的进一步增大，硬度又逐渐▓减小。
                  
	 
                  
	四、涂层厚度
                  
	TiN涂层厚度对其硬度的影响极大，涂层太薄，在外力作用下∮涂层容易变形剥落；涂层太厚，则⌒处于高的应力状态，其抗变形、抗剥落能力将会下降，并且涂层容易ζ变脆。通常单一硬质PVD或CVD涂层的厚度在1~10μm之间，多层涂层的单层厚度一般不超过5μm。
                  
	 
                  
	在TiN涂层制备过▂程中，影响涂层厚度的因素是↑多方面的，如在多弧离子镀制备TiN涂层时，当工件与靶源的距离靠近涂层厚↙度将增大；随着镀层时间的延长涂层厚度将增大。通常＠ 在靶源数量、基体与靶源距离确定的情况下，可通过调整电弧电流及镀层时间◆来获得一定厚度的涂层。
                  
	
                  
	 
                  

                  

											  
										
                  
								    
                  
							
                  
						  
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