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                  苏州帕士卡DLC类金刚石涂层工艺流程及质量检验

                  发布时间:2022-02-16 14:12 浏览:

                  DLC类金刚石涂层是一种应用于工模具表面改性领域的技术。该技术对于工艺的要求以及工件模具的质量要求较高,这是确保产品品质的关键,所以就由苏州帕士卡的小编为大家介绍一下 DLC类金刚石涂层工艺流程及质量检验吧!
                   
                  一、金刚石涂层工艺流程
                    1、工件基体处理
                    这一步是比ㄨ较重要的,将工件抛光≡到小于Ra0.2um, 涂覆处理后的工件才可得到』满意的表面质量,这对成〇形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的,类似成形光学镜头和∏成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角,这影响到膜层是否能与基体▲牢固地结合。
                    2、充分清洗
                  将要涂覆的工件进行充分清洗,涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上,夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物,真空室中通入惰性气体并使其离子化,导∮致产生辉光放电(等离子体),这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。
                         3、金属沉淀
                  在用于沉淀的固体金属上(指靶材)加载高电流、低电◥压电弧,金属被蒸发※并且瞬间离子化,属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性』气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在激活∏的沉淀过程中,改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质,形成像碳化物、氮化物或氧化★物的陶瓷。同样,通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。

                   

                  二、金刚石涂层的质量检∑验  

                         涂覆完成后,就要对成形工件的▲膜层质量进行检验,检测膜层厚度是否均匀、工件的光泽、膜层是否↑出现分层及尺寸是否在控制范围内。下面我们来了解一下相应的解决办法是什么【吧!
                         1、检验膜层均匀度
                  检验成形后的膜层如果出现◥光泽不均匀、有花纹,应该是靶材的材质的纯净度※不够,杂质多就会导致膜层不均匀。也可能是涂覆设备◆的故障。
                  解决办法:所以如果检验出了膜层的问题可以先检测设︼备是否故障,如果设备稳定正常的话则必须更换靶材。

                         2、检验膜层厚度
                  检验√膜层时如果发现厚度超差的情况,可能是处理时间过长或过短所导致的。
                  解决办法:在设备稳定正常的情况下◢,膜层★的厚度都是取决于成形的工艺时间,所以如果出现膜层超差的情况只要调整处理时间就ξ可以了。

                         3、检验结合力
                  检验膜层和工卐件基体之间的结合力,结合力不强々会出现分层现象。导致这种问题的原因很多,比如工件█清洗得不干净、不彻底,工件的基体没有抛光到工艺要求或者存在缺陷↘,成形工艺参数不合理等。

                         解决办法:如果出现这种情况的话需要一一排除,找到真正的原因,从而解决基体与膜层◣分层的问题,有时需要在工件上预【先涂覆一层金属来消除基体本身的缺陷。